12月24日，華海清科（688120.SH）發(fā)布公告，公司擬使用自有資金不超過10.045億元收購參股子公司芯崳公司剩余82%的股權，本次交易完成后，芯崳公司將成為公司全資子公司。

華海清科是一家擁有核心自主知識產權的高端半導體裝備供應商，主要從事半導體專用裝備的研發(fā)、生產、銷售及技術服務，主要產品包括CMP裝備、減薄裝備、劃切裝備、濕法裝備、晶圓再生、關鍵耗材與維保服務等，初步實現(xiàn)了“裝備+服務”的平臺化戰(zhàn)略布局。通過本次收購，華海清科可以較快實現(xiàn)對離子注入核心技術的吸收和轉化，跨越式地完成產品和業(yè)務板塊布局，是其積極落實“裝備+服務”的平臺化發(fā)展戰(zhàn)略的又一重要突破，將進一步提升核心競爭力。

據(jù)了解，離子注入設備是集成電路制造前道工序中的關鍵設備之一，銷售額占半導體工藝設備整體銷售規(guī)模的比重約為3-5%，但其涉及高壓電子、機械、電氣、計算機控制、等離子體物理等基礎科學，理論門檻高，系統(tǒng)集成難度大。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，在全球及國內市場中，超過九成的設備仍由美國應用材料公司、美國亞舍立公司供應，中國大陸集成電路制造企業(yè)的離子注入設備仍然主要依賴進口，進口替代需求空間巨大，市場前景亦十分廣闊。

作為國產離子注入設備研發(fā)和生產企業(yè)，芯崳公司是國內少數(shù)能實現(xiàn)大束流離子注入設備生產的供應商，其核心技術團隊專注于離子注入行業(yè)30多年，具有豐富的離子注入行業(yè)經(jīng)驗，在長期研發(fā)過程中不斷積累了產品設計及工藝性能的核心參數(shù)，較同類競品的晶圓顆粒污染控制效果、晶圓的裝載效率更優(yōu)，且設備零部件的國產化率更高。目前，芯崳公司實現(xiàn)商業(yè)化的主要產品為低能大束流離子注入設備，相關產品已發(fā)往客戶端驗證，已有部分機臺實現(xiàn)驗收。

華海清科表示，本次收購完成后，將加大此類業(yè)務的研發(fā)投入，以實現(xiàn)離子注入設備的持續(xù)迭代升級和新產品開發(fā)，進一步加快落實公司“裝備+服務”的平臺化發(fā)展戰(zhàn)略，豐富公司產品品類，帶來新的業(yè)務增長點。