截至2025年6月23日午間收盤，中證半導體材料設備主題指數(931743)強勢上漲2.52%，成分股中晶科技(003026)10cm漲停，中科飛測(688361)上漲5.59%，中微公司(688012)上漲4.98%，神工股份(688233)，廣立微(301095)等個股跟漲。芯片設備ETF(560780)半日收漲2.54%， 沖擊4連漲。

流動性方面，芯片設備ETF換手3.55%，半日成交660.22萬元。拉長時間看，截至6月20日，芯片設備ETF近1年日均成交815.12萬元。規模方面，芯片設備ETF最新規模達1.82億元，創近3月新高。份額方面，芯片設備ETF近1周份額增長200.00萬份，新增份額位居可比基金第一。

截至6月20日，芯片設備ETF近1年凈值上漲18.23%，居可比基金第一。從收益能力看，截至2025年6月20日，芯片設備ETF自成立以來，最高單月回報為20.57%，最長連漲月數為3個月，最長連漲漲幅為44.38%，上漲月份平均收益率為9.61%。

數據顯示，截至2025年5月30日，中證半導體材料設備主題指數(931743)前十大權重股分別為北方華創(002371)、中微公司(688012)、滬硅產業(688126)、南大光電(300346)、華海清科(688120)、拓荊科技(688072)、長川科技(300604)、鼎龍股份(300054)、TCL科技(000100)、安集科技(688019)，前十大權重股合計占比61.33%。

6月18日，證監會出臺《關于在科創板設置科創成長層增強制度包容性適應性的意見》，擴大第五套上市標準適用范圍，支持人工智能、商業航天、低空經濟等更多前沿科技領域企業適用。

國泰海通證券認為，證監會設置科創板科創成長層，展開科創板分層策略，有利于優質半導體企業在資本市場脫穎而出，配合AI與自主可控相關的產業大趨勢，AI有望實現與科創共振。當前國內先進制程工藝持續迭代，AI算力芯片有望逐步轉向國內晶圓代工，而中芯國際、華虹公司等晶圓廠作為布局先進制程的核心資產將有望迎來AI時代的廣闊國產化替代空間。

中原證券認為，半導體國產化替代加速推進，國內半導體產業鏈國產化率較低的環節有望充分受益。建議關注AI算力芯片、CPU、FPGA、先進半導體設備、先進制造、先進封裝、EDA軟件等環節。

芯片設備ETF(560780)：緊密跟蹤中證半導體材料設備主題指數，中證半導體材料設備主題指數選取40只業務涉及半導體材料和半導體設備等領域的上市公司證券作為指數樣本，反映半導體材料和設備上市公司證券的整體表現。場外聯接(A：020639；C：020640)。