車用壓差傳感器、MEMS陀螺儀信號處理電器、MEMS加速度計(jì)……在中國（蚌埠）傳感谷展示中心，種種傳感領(lǐng)域的高精尖產(chǎn)品讓人眼花繚亂。傳感器“身量”不大，卻是萬物互聯(lián)的關(guān)鍵。正是利用它采集數(shù)據(jù)，人與物“對話”、物與物“交流”成為可能。

中國（蚌埠）傳感谷是蚌埠省委、省政府重點(diǎn)支持建設(shè)的智能傳感產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，與合肥“聲谷”、蕪湖“視谷”并稱安徽省人工智能產(chǎn)業(yè)“三谷”，2021年啟動建設(shè)。目前，中國（蚌埠）傳感谷已聚集北方微電子研究院、芯動聯(lián)科、希磁科技等一批行業(yè)領(lǐng)軍及重點(diǎn)企業(yè)。

科技賦能，產(chǎn)業(yè)發(fā)展增添活力

日前，中國（蚌埠）傳感谷展示中心展出一批新產(chǎn)品。其中，安徽北方微電子研究院集團(tuán)有限公司自主研發(fā)的高穩(wěn)定MEMS壓力傳感器芯片頗受關(guān)注。

“MEMS壓力傳感器是基于MEMS工藝技術(shù)和集成電路技術(shù)的壓力測量器件，其體積小、成本低、可批量生產(chǎn)等特點(diǎn)，滿足了消費(fèi)電子、工業(yè)工程等行業(yè)需求。”北方微電子研究院半導(dǎo)體及MEMS工藝部副主任王文婧告訴記者。

依托MEMS國家地方聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室等研發(fā)平臺，北方微電子研究院開發(fā)了高性能MEMS器件芯片的先進(jìn)制造技術(shù)，在高性能慣性、微鏡、環(huán)境感知等器件研制方面形成了國內(nèi)領(lǐng)先的技術(shù)優(yōu)勢。

“技術(shù)創(chuàng)新是企業(yè)發(fā)展的‘命脈’。我們建成6英寸體硅MEMS制造平臺及8英寸微系統(tǒng)集成研發(fā)平臺，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈制造端自主可控，累計(jì)完成60余款MEMS器件工藝開發(fā)，廣泛應(yīng)用于汽車、醫(yī)療、高端工業(yè)等領(lǐng)域。”王文婧說。

中國（蚌埠）傳感谷園區(qū)按照“一谷三園多點(diǎn)”的產(chǎn)業(yè)集群總體布局，其中“三園”即MEMS核心器件產(chǎn)業(yè)園、科技孵化園、中央創(chuàng)新園。

目前，傳感谷內(nèi)組建了微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）國家地方聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室、安徽省智能傳感器制造業(yè)創(chuàng)新中心、安徽省MEMS核心器件產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心等近20個(gè)創(chuàng)新平臺，初步形成集智能傳感器設(shè)計(jì)、制造、測試、封裝和應(yīng)用于一體的完整產(chǎn)業(yè)體系，蚌埠也成為我省唯一同時(shí)擁有集成電路及多條MEMS晶圓生產(chǎn)線的城市。

芯動聯(lián)科MEMS陀螺儀的主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到中低精度光纖陀螺和激光陀螺，填補(bǔ)國內(nèi)高端MEMS慣性傳感器空白；北方微電子研究院“面向新一代超聲診療的高性能MEMS換能器芯片關(guān)鍵技術(shù)研究”項(xiàng)目獲2022年省“揭榜掛帥”立項(xiàng)……傳感谷內(nèi)持續(xù)涌現(xiàn)的創(chuàng)新成果，正不斷提升智能傳感產(chǎn)業(yè)的“含金量”。

筑巢引鳳，產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目加速集聚

在位于中國（蚌埠）傳感谷的安徽禹芯半導(dǎo)體科技有限公司，100多臺機(jī)器不停運(yùn)轉(zhuǎn)，自投產(chǎn)以來，該企業(yè)一直保持著產(chǎn)銷兩旺的態(tài)勢。

“我們是最早一批入駐傳感谷的項(xiàng)目。企業(yè)起初在蘇州，后在宿州設(shè)廠，隨著產(chǎn)能逐步擴(kuò)大，需要新的研發(fā)生產(chǎn)基地。蚌埠經(jīng)開區(qū)多次上門招商，積極宣傳政策，幫助解決廠房用地等問題，堅(jiān)定了企業(yè)來蚌發(fā)展的決心。”該公司市場部經(jīng)理王會珍告訴記者。

為滿足禹芯半導(dǎo)體企業(yè)生產(chǎn)需求，蚌埠經(jīng)開區(qū)管委會工作人員積極對接、上門征求企業(yè)意見。很快，占地2萬多平方米的定制化廠房拔地而起。得益于蚌埠市各級政府全流程服務(wù)，企業(yè)在較短時(shí)間內(nèi)完成環(huán)評、裝修、生產(chǎn)設(shè)備遷入、招工等工作，不到一年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

“蚌埠是全國三大傳感器基地之一，產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和技術(shù)優(yōu)勢明顯。相信從這里出發(fā)，我們一定能在傳感器領(lǐng)域有所作為。”王會珍說。

目前，傳感谷已建成產(chǎn)業(yè)空間和公共配套設(shè)施50萬平方米，建成智能傳感器生產(chǎn)線與8英寸MEMS晶圓制造線兩大公共示范線，為入駐企業(yè)提供高端的芯片設(shè)計(jì)、工藝驗(yàn)證、晶圓制造、封裝測試等全鏈條服務(wù)。

蚌埠市成立智能傳感器產(chǎn)業(yè)專班，由市領(lǐng)導(dǎo)牽頭調(diào)度，定期協(xié)調(diào)解決園區(qū)建設(shè)發(fā)展中的各類問題。同時(shí)，為入園重點(diǎn)項(xiàng)目匹配服務(wù)專員，實(shí)施全流程、一站式跟蹤服務(wù)幫辦。

“園區(qū)將配套建設(shè)人才公寓、污水處理中心、電鍍產(chǎn)業(yè)園、大宗氣站等設(shè)施，全方位服務(wù)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展。”蚌埠經(jīng)開區(qū)管委會主任唐廣廷告訴記者。

8英寸MEMS晶圓線項(xiàng)目正在建設(shè)，融薇科技6英寸線年內(nèi)投產(chǎn)……一批好項(xiàng)目大項(xiàng)目加速推進(jìn)，為園區(qū)高質(zhì)量發(fā)展蓄勢聚能。目前，中國（蚌埠）傳感谷集聚智能傳感產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)企業(yè)70余家，其中規(guī)模以上企業(yè)39家。

政策加持，產(chǎn)業(yè)生態(tài)不斷優(yōu)化

車用MEMS傳感器芯片封測項(xiàng)目，便攜式醫(yī)療測溫用智能檢測儀項(xiàng)目，智能家居研發(fā)制造項(xiàng)目……4月22日，在第五屆中國（蚌埠）MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會上，總投資137億元的40個(gè)項(xiàng)目集中簽約落戶中國（蚌埠）傳感谷。

近年來，蚌埠市將智能傳感產(chǎn)業(yè)列為四大產(chǎn)業(yè)集群之一，組建智能傳感器產(chǎn)業(yè)招商分局開展精準(zhǔn)招商。

圍繞主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)鏈，蚌埠經(jīng)開區(qū)利用招商隊(duì)伍、商會資源等深入滬蘇浙開展延鏈招商、以商招商，組織龍頭企業(yè)、專精特新企業(yè)、高新技術(shù)企業(yè)等主體對標(biāo)學(xué)習(xí)長三角先進(jìn)地區(qū)經(jīng)驗(yàn)，開展上下游企業(yè)對接活動，推動傳感器產(chǎn)業(yè)集群集聚發(fā)展。

聚焦企業(yè)融資難，蚌埠市組建新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金、新微人工智能基金、深賽智能傳感器前沿投資基金等多只專項(xiàng)基金，同時(shí)探索科創(chuàng)企業(yè)投貸聯(lián)動機(jī)制，撬動更多金融資源參與項(xiàng)目建設(shè)，支持各類傳感器技術(shù)成果轉(zhuǎn)化和重大項(xiàng)目落地。

日前，蚌埠學(xué)院“集成電路設(shè)計(jì)與集成系統(tǒng)專業(yè)”獲批，與北方微電子研究院聯(lián)合共辦的“兵器微電子定制班”也正在實(shí)踐中。

“未來，我們將與安徽財(cái)經(jīng)大學(xué)、蚌埠醫(yī)學(xué)院等高校嘗試開展校企合作，聯(lián)合培養(yǎng)更多專業(yè)技能人才，源源不斷為傳感谷提供智力支撐，解決傳感器上下游企業(yè)用才需求，助力蚌埠傳感產(chǎn)業(yè)做大做強(qiáng)。”唐廣廷說。

當(dāng)前，蚌埠市政府正在制定對標(biāo)國內(nèi)一線水平、富有競爭力的智能傳感專項(xiàng)政策，包括研發(fā)設(shè)計(jì)、流片補(bǔ)貼、軟件補(bǔ)貼、認(rèn)證補(bǔ)貼、強(qiáng)鏈補(bǔ)貼、設(shè)備補(bǔ)貼、代工補(bǔ)貼、資本支持、金融支持、實(shí)訓(xùn)培養(yǎng)，覆蓋全產(chǎn)業(yè)鏈和企業(yè)全生命周期。

中國（蚌埠）傳感谷計(jì)劃利用5年時(shí)間，吸引國內(nèi)外傳感器及物聯(lián)網(wǎng)200余家優(yōu)質(zhì)企業(yè)，力爭2025年產(chǎn)業(yè)規(guī)模突破200億元。

在眾多政策的加持下，蚌埠智能傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈雛形初顯，中國（蚌埠）傳感谷正成為智能傳感產(chǎn)業(yè)企業(yè)、人才和資金的匯聚地。一座產(chǎn)業(yè)“新地標(biāo)”在龍子湖畔加速崛起。

采訪手記

蚌埠作為中國三大傳感器基地之一，發(fā)展智能傳感產(chǎn)業(yè)具有得天獨(dú)厚的優(yōu)勢。

如何將產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)優(yōu)勢轉(zhuǎn)變?yōu)楦哔|(zhì)量發(fā)展優(yōu)勢？蚌埠市發(fā)揮合蕪蚌國家自主創(chuàng)新示范區(qū)、中國（安徽）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蚌埠片區(qū)、皖北承接產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移集聚區(qū)等重大平臺優(yōu)勢，實(shí)施創(chuàng)新和招商“雙輪驅(qū)動”，加強(qiáng)核心技術(shù)攻關(guān)，持續(xù)強(qiáng)鏈延鏈補(bǔ)鏈，精耕細(xì)作優(yōu)化產(chǎn)業(yè)生態(tài)，加快培育產(chǎn)業(yè)集群，全力打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)高地。

眼下，一批重大項(xiàng)目和優(yōu)質(zhì)企業(yè)相繼進(jìn)駐中國（蚌埠）傳感谷，智能傳感產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈雛形初顯，正在成為蚌埠在高質(zhì)量發(fā)展中闖新路、推動工業(yè)振興的新引擎。