晶盛機電近日在接受調研時表示，近日，子公司浙江晶盛光子科技有限公司自主研發的電池片設備成功出口海外客戶。此次晶盛光子出口海外的產品包括PECVD、LPCVD和管式低壓磷擴散爐三款最新設備。其中，PECVD設備獨特的細絲爐體設計，使效率分布更加收斂；LPCVD設備腔內熱場分布更加均勻，Poly-Si沉積膜厚均勻性超業內水平；管式低壓磷擴散爐創新應用了法蘭獨立水冷等設計，進一步改善了熱管理和氣流控制能力。這三款電池片設備此次出口海外，將在很大程度推動高效電池技術擴產。